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產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡（XRM）X射線全自動化單晶定向儀Freiberg-Omega/Theta XRDX射線全自動化單晶定向儀
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
?產(chǎn)品介紹
德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司的Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-Omega掃描）主要針對半導體晶體材料和光學材料生產(chǎn)研發(fā)，該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀（XRD）技術，且可集成至全自動生產(chǎn)線中，是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。
?技術特點
--全自動的垂直三軸衍射儀，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體的方向。配備可容納長達450毫米和30公斤的樣品及樣品架；
--自動化測量，并通過定制軟件進行訪問。利用Omega掃描，可在晶體旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只產(chǎn)生一個方向分量；
--準確地確定傾斜角度，Theta掃描精度達到0.001°；
--模塊化系統(tǒng)，并配備了多功能需求擴展。
?行業(yè)應用
具有多種幾何形狀和大小的樣品
根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線衍射儀（X射線單晶定向儀-Omega掃描）可以處理大塊鋼錠或鋼球和實驗合成的微小晶體。
非線性光學材料(NLO)：晶體質量和定向
與典型的無機金屬、半導體和絕緣體相比，NLO材料具有更復雜的晶體結構和更低的對稱性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內的小棒，而對這種小晶體的表面質量測定常?？梢越沂揪w內部的結構缺陷和裂紋。通過對Omega/Theta的設計進行的一些特殊的修改，我們的定向儀能夠確定許多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。
平面方向的標記和測量
Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位。因此，平面方向可以直接識別。這是一個有用的功能，以標記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
搖擺曲線:晶體表面評價
搖擺曲線測量對晶格內的缺陷和應變場很敏感。將這種技術與映射階段相結合，可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。通過裝備一個具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀，可以直接測量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射。
如下圖顯示的結果，這種映射的碳化硅晶圓片的內部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長缺陷有關。
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