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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體專用檢測儀器設(shè)備XRDFreiberg-Omega/Theta XRDOmega/Theta XRD - X射線晶體定向儀
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑：
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數(shù)裝置，名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統(tǒng) - 振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料，如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺石英分選系統(tǒng)
◆ 2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師
Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀產(chǎn)品優(yōu)勢：
◆ 采用Omega-scan掃描方法
◆ 測試速度快: 5s
◆ 測角精度高: 0.003
◆ 兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能
◆ 磨拋定向解決方案
◆ 擁有晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)（堆垛 stacking）專為SiC工業(yè)設(shè)計，被多家SiC襯底頭部企業(yè)青睞，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，國外四分之三的碳化硅制造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體取向測量技術(shù)，極大提高了生產(chǎn)效率，提升產(chǎn)品質(zhì)量。
◆ Mapping 面掃功能，搖擺曲線測定
◆ 易于集成到工藝線中
◆ MES和/或SECS/GEM接口
◆ 傾斜的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差（例如：Si 100）：< 0.003 °，小于< 0.001 °
Omega/Theta X射線衍射儀是一個全自動的垂直三軸衍射儀，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對各種晶體進(jìn)行取向測定和搖擺曲線測量。大而寬敞的設(shè)計可以容納長度達(dá)450毫米、重量達(dá)30公斤的樣品和樣品架。
所有的測量都是自動化的，可以從用戶友好的軟件界面上的訪問。使用Omega掃描，可以在晶體旋轉(zhuǎn)時（5秒）確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只能得到一個取向成分。傾斜角可以以非常高的精度確定；使用Theta掃描可以達(dá)到0.001°。對于所有其他晶體方向，精度取決于與表面垂直的角差。
該系統(tǒng)是模塊化的，已經(jīng)配備了許多不同的擴(kuò)展，用于特殊的目的，如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過光學(xué)測量檢測出來的，并可用于校正所產(chǎn)生的方向。
Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀：
◆ 全自動完整的單晶體晶格取向測量
◆ 使用歐米茄掃描法進(jìn)行超快速的晶體取向測量
◆ 自動搖動曲線測量功能
◆ 衍射儀的角度分辨率：0.1角秒。
◆ 樣品尺寸可達(dá)450毫米
◆ 適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制和研究
用戶友好，成本效益高：
◆ 方便的樣品處理，易于操作
◆ *的、用戶友好的軟件
◆ 能源消耗和運(yùn)行成本低
◆ 模塊化設(shè)計，靈活性強(qiáng)
◆ 各種升級選項
◆ 根據(jù)用戶的要求進(jìn)行定制
選配功能：
◆ 自動Mapping面掃功能
◆ Omega/Theta – 晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)（堆垛 stacking）
◆ Omega/Theta - 搖擺曲線測量
◆ Omega/Theta - 定制的樣品臺
◆ 用于樣品形狀測量的激光掃描儀
◆ 光學(xué)檢測，用于平面和凹槽檢測
◆ 額外的樣品旋轉(zhuǎn)軸用于3D繪圖
◆ 二級通道切割準(zhǔn)直器（分析器）
◆ 用于樣品調(diào)整的設(shè)備
掃一掃，關(guān)注公眾號
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