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產品中心少子壽命測試儀（MDP）弗萊貝格--MDPlinescanMDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀
產品簡介
產品分類
?公司簡介
Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。
初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、
醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。
?產品介紹
德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）是一款靈活的OEM設備，可以用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。
MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）配置標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統。
--各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。
--MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
--樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
--該儀器有許多專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網連接和電源即可。例如，電池生產線上的來料質量檢查是其常用的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。
?特性
--允許單片調查
--配方的基礎測量
--監控材料質量、工藝的完整性和穩定性
?優勢
--在µ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
--用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。
--小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優勢是長時間的可靠性和測量結果的高精度。
?技術參數
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服務電話：
021-34685181
上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室
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