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產(chǎn)品中心少子壽命測試儀（MDP）Freiberg--MDPinline ingotMDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試
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?產(chǎn)品介紹
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試）系統(tǒng)是快速多晶硅晶錠電學參數(shù)特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導率，電阻率)都可以同時進行測量。
MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試）系統(tǒng)包括一個數(shù)據(jù)庫和相關的統(tǒng)計數(shù)據(jù)評估，可自動確定準確的切割位置，以提高成品率。主要用于材料質(zhì)量監(jiān)控，爐選擇和工藝改進。
?性能
--無接觸、無破壞的半導體特性
--少數(shù)載流子壽命的檢測能力
--*的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
--自動切割標準定義
--獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測量
--*自動化的內(nèi)聯(lián)集成
--對太陽能級硅錠進行掃描，1mm分辨率
--測量時間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描，可自動測量所有4個面
Automated determination of cut off criteria
?優(yōu)勢
--保持著*光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
--在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的
--線掃描測試。客戶定義的切割標準可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫允許對下一代光伏晶圓廠進行*自動化的材料監(jiān)控。
--對爐料進行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測，并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。
?技術參數(shù)
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