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產品中心三維X射線顯微鏡（XRM）弗萊貝格XRD-OEM在線X射線衍射儀(全自動化單晶定向儀)束蘊儀器
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?產品介紹
德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)，主要用于對晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測量。
XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用，將測量過程整合到工業生產中，解決了由于加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業難題。
?XRD-OEM的特點
--可以集成任何自動化或處理系統且適用于環境(研磨、鋸切)
--緊湊、標準的工業接口
--獨立定位測量，可測量平面或圓周
--光學等級檢測
--解決了行業難題:
-如果加工設備和定向測量是分開的，那么就會因為樣品轉移
而造成定向誤差
-市場對于準確對齊的晶圓的需求量越來越大
--將測量過程整合到工業生產中（研磨或鋸切）
?技術參數
--可測量材料：硅，碳化硅，砷化鎵及更多
--樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米
--冷卻：空氣，低噪音
--可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準
?應用實例
硅錠取向:
--磨削前對平面和缺口位置的檢測
--樣品直徑可達8 "，長度可達40厘米
?XRD-OEM適配普遍的打磨設備
無需移動樣本即可進行定向，可與打磨產線相結合直接進行在線檢測
可以直接集成到基礎機圓磨床72/856上
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服務電話：
021-34685181
上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室
wei.zhu@shuyunsh.com
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