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產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡（XRM）X射線全自動化單晶定向儀弗萊貝格--SDCOM束蘊X射線單晶定向儀（小晶體樣品臺式））
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
?技術(shù)特點
--能夠測量小至1mm的晶體到或更大的樣品
--各種樣品架及輸送夾具，用于線鋸、拋光等
--側(cè)晶方向標記選項
--SDCOM（小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀）無水冷卻
--精可達0.01°(視晶體質(zhì)量而定)
--確定單晶的*晶格取向
--使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量
--氣冷式X射線管，無需水冷
--適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制
--手動操作(沒有自動化選項)
晶體的方向是由反射位置決定的
?SDCOM可測材料
--立方/任意未知方向：Si, Ge, GaAs, GaP, InP
--立方/特殊取向：Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
--正方：MgF2, TiO2, SrLaAlO4
--六方/三角：SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英)，Al2O3(藍寶石)，GaPO4, La3Ga5SiO14
--斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3
--另可根據(jù)客戶的要求進一步選料
適合多種材料
?行業(yè)應用
平面方向的標記和測量
--在晶圓片的注入和光刻過程中，需要平面或凹槽作為定位標記。切割過程中，晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面。因此，檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。
--為了確定平面或缺口的位置，就需要測量平面內(nèi)的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位，基于此，便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
--SDCOM（小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀）通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下，這可以大大簡化將標記應用到特定平面方向的過程。
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